电子显微镜（Electron Microscope, EM）是一种利用经过电场加速的电子束来观察样品表面的高分辨率显微镜。但是，EM 对机械振动为敏感，对环境噪声和震动的抗干扰能力也非常有限，因此通常需要在 EM 的工作台上安装隔振器以提高其稳定性和精度。本文将重点介绍 EM 主动隔振器的使用注意事项。

首先，EM 主动隔振器需要放置在固定的平稳地基上，并且需要按照厂家要求连接电源线路。在使用前，需要检查设备是否完好无损，尤其要检查气垫设置是否准确无误，避免因气垫失效引起设备震动。

其次，EM 主动隔振器需要进行正确的开启、关闭和操作，以确保系统的稳定和精度。在开启设备前，需要先将设备接通电源，打开气源，待设备自动升起后方可进行主动隔振器的开启操作，并等待其完全启动后再安装设备以避免设备震动干扰。在操作过程中应注意控制实验室内其他设备的使用，避免设备震动及声波对隔振器的影响。

另外，在使用 EM 主动隔振器时，还需注意以下几点：

隔振器的载荷范围需要与实际加工样品相匹配，否则会影响隔振效果。

EM 主动隔振器需要定期进行维护和保养，如清除灰尘等杂质，确保气垫平稳。如果发现异常情况，如气压过低或异响等应及时联系售后服务中心。

在使用过程中避免重物碰撞，以免损坏气垫。

总之，EM 主动隔振器是电子显微镜必不可少的部件之一，正确的使用和维护对于保障设备的稳定性和精度非常重要。只有将其正确安装和使用，才能更好地提高实验结果的精度和可靠性。